檢測項目

共振頻率、品質(zhì)因數(shù)(Q值)、動態(tài)響應(yīng)帶寬、位移靈敏度、應(yīng)力梯度、溫度漂移系數(shù)、非線性誤差、遲滯特性、抗沖擊強度、抗振動等級、疲勞壽命循環(huán)次數(shù)、表面粗糙度(Ra)、薄膜厚度均勻性、殘余應(yīng)力分布、介電強度耐受值、接觸電阻穩(wěn)定性、電容變化線性度、電磁兼容性(EMC)、熱膨脹系數(shù)(CTE)、氣密性泄漏率、濕度敏感性等級、化學腐蝕耐受性、顆粒污染物濃度閾值、粘附力臨界值、摩擦系數(shù)重復性、微結(jié)構(gòu)形變恢復率、諧振模態(tài)純度、功耗效率比、信號噪聲比(SNR)、封裝翹曲度

檢測范圍

硅基加速度計、壓電陀螺儀、微鏡陣列器件、微型壓力傳感器、射頻MEMS開關(guān)、生物微流控芯片、納米級執(zhí)行器、光學MEMS調(diào)制器、微型熱電堆探測器、磁阻式位置傳感器、微型氣體色譜柱、微機械振蕩器、柔性應(yīng)變傳感器陣列、微泵閥集成系統(tǒng)、氮化硅薄膜諧振器、三維封裝結(jié)構(gòu)體、仿生微觸覺傳感器、石墨烯復合驅(qū)動器、微型能量收集器、聚合物基微致動器、金屬玻璃慣性器件、微針電極生物傳感器、真空封裝諧振梁結(jié)構(gòu)、微透鏡光學組件、碳納米管濕度傳感器、微型燃料電池膜電極、超材料聲表面波器件

檢測方法

激光多普勒測振法通過非接觸式測量獲取器件動態(tài)位移響應(yīng)曲線；掃描電子顯微鏡(SEM)結(jié)合能譜分析實現(xiàn)亞微米級結(jié)構(gòu)形貌與成分表征；納米壓痕技術(shù)定量測定薄膜材料的彈性模量與硬度參數(shù)；白光干涉儀用于三維表面粗糙度與臺階高度的亞納米級分辨率測量；熱激電流法(TSC)分析介電材料的陷阱電荷分布特性；四探針電阻測試系統(tǒng)評估導電通路的接觸阻抗穩(wěn)定性；高低溫循環(huán)試驗箱模擬-65℃~300℃極端溫變條件下的性能漂移；氦質(zhì)譜檢漏儀檢測封裝腔體的漏率至10^-9Pam/s量級；聚焦離子束(FIB)切片技術(shù)結(jié)合EDS實現(xiàn)失效部位的微觀結(jié)構(gòu)解析；MEMS專用探針臺集成信號發(fā)生器與高速示波器完成動態(tài)電學參數(shù)在線測試

檢測標準

ISO/IEC62047-21:2015半導體器件-微機電裝置-第21部分：薄膜材料拉伸試驗方法ASTME2244-22微機電系統(tǒng)(MEMS)殘余應(yīng)力測量的標準試驗方法GB/T26111-2023微機電系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)加速度計試驗方法IEC62047-25:2018半導體器件-微機電裝置-射頻開關(guān)特性測試規(guī)范JESD22-A110F微電子機械系統(tǒng)(MEMS)器件的機械沖擊試驗MIL-STD-883KMETHOD2032密封微器件的細檢漏和粗檢漏測試IEEE1451.4-2020智能傳感器接口標準（含MEMS參數(shù)標定）ISO14223:2017射頻識別動物用高級應(yīng)答器的MEMS性能要求GB/T35010-2018MEMS技術(shù)微麥克風測試方法SAEJ2716-2021汽車用MEMS壓力傳感器性能驗證標準

檢測儀器

多軸振動測試系統(tǒng)配備電磁激振器與高精度加速度計陣列，可復現(xiàn)6自由度復雜振動環(huán)境；原子力顯微鏡(AFM)通過探針懸臂撓度測量實現(xiàn)納米級表面力學特性分析；激光共聚焦顯微鏡結(jié)合圖像處理軟件量化三維結(jié)構(gòu)形變；高分辨率X射線衍射儀(XRD)測定晶體結(jié)構(gòu)畸變與殘余應(yīng)力分布；動態(tài)信號分析儀配合模態(tài)激振裝置提取諧振頻率與阻尼比參數(shù)；真空探針臺集成低溫恒溫器完成寬溫區(qū)(-196℃~300℃)電學特性測試；飛秒激光多普勒測速系統(tǒng)實現(xiàn)μs級瞬態(tài)運動捕捉；納米顆粒計數(shù)器監(jiān)控潔凈環(huán)境中粒徑≥0.1μm的污染物濃度；高頻網(wǎng)絡(luò)分析儀測量射頻MEMS器件的S參數(shù)與插入損耗；微型萬能試驗機配備μN級力傳感器進行微結(jié)構(gòu)力學強度測試

檢測報告作用用作

銷售報告：出具正規(guī)第三方檢測報告讓客戶更加信賴自己的產(chǎn)品質(zhì)量，讓自己的產(chǎn)品更具有說服力。

研發(fā)使用：擁有優(yōu)秀的檢測工程師和先進的測試設(shè)備，可降低了研發(fā)成本，節(jié)約時間。

司法服務(wù)：協(xié)助相關(guān)部門檢測產(chǎn)品，進行科研實驗，為相關(guān)部門提供科學、公正、準確的檢測數(shù)據(jù)。

大學論文：科研數(shù)據(jù)使用。

投標：檢測周期短，同時所花費的費用較低。

準確性較高;工業(yè)問題診斷：較短時間內(nèi)檢測出產(chǎn)品問題點，以達到盡快止損的目的。

我們的承諾

　　北京中科光析科學技術(shù)研究所承諾：我們將根據(jù)不同產(chǎn)品類型的特點，并結(jié)合不同行業(yè)和國家的法規(guī)標準，選擇適當?shù)臋z測項目和方法進行分析測試，或根據(jù)您的要求進行試驗分析。為了不斷改進我們的工作，我們致力于提高產(chǎn)品質(zhì)控分析、使用性能檢測能力，并持續(xù)加強我們團隊的科研技術(shù)。同時，我們將積極跟進新的技術(shù)和標準，以最大程度地滿足您的需求和市場要求。