檢測(cè)項(xiàng)目

真空抽氣泵的標(biāo)準(zhǔn)化檢測(cè)包含六大核心指標(biāo)體系：

1. 極限真空度測(cè)試：測(cè)定泵在標(biāo)準(zhǔn)工況下能達(dá)到的最低壓力值（Pa），需區(qū)分前級(jí)泵與主泵的協(xié)同工作狀態(tài)

2. 抽氣速率曲線：繪制不同入口壓力下的體積流量變化圖譜（m3/h），驗(yàn)證設(shè)計(jì)參數(shù)與實(shí)際性能的吻合度

3. 泄漏率測(cè)定：采用氦質(zhì)譜檢漏法量化系統(tǒng)漏率（Pa·m3/s），重點(diǎn)監(jiān)測(cè)軸封、法蘭接口等關(guān)鍵部位

4. 溫升特性分析：連續(xù)運(yùn)行8小時(shí)后記錄電機(jī)繞組溫升（ΔK），評(píng)估散熱系統(tǒng)效能

5. 振動(dòng)噪聲指標(biāo)：依據(jù)ISO 10816-3標(biāo)準(zhǔn)測(cè)量寬頻帶振動(dòng)速度（mm/s）及聲壓級(jí)（dB(A)）

6. 介質(zhì)兼容性驗(yàn)證：針對(duì)腐蝕性氣體工況進(jìn)行材料耐蝕試驗(yàn)（ASTM G31）與密封件溶脹測(cè)試

檢測(cè)范圍

本檢測(cè)體系適用于以下三類應(yīng)用場(chǎng)景：

1. 工業(yè)設(shè)備類：包括旋片式真空泵（油封/干式）、羅茨真空泵組、水環(huán)真空泵等主流機(jī)型

2. 實(shí)驗(yàn)室儀器類：分子渦輪泵、低溫吸附泵、離子濺射泵等高精密設(shè)備

3. 特殊環(huán)境設(shè)備：防爆型真空泵（Ex dⅡCT4認(rèn)證）、無(wú)油潔凈真空系統(tǒng)（ISO 8573-1 Class 0）

具體應(yīng)用領(lǐng)域覆蓋半導(dǎo)體制造（晶圓蝕刻）、醫(yī)療滅菌設(shè)備、航天熱真空試驗(yàn)艙等20余個(gè)行業(yè)場(chǎng)景。

檢測(cè)方法

基于ISO 21360-1:2012標(biāo)準(zhǔn)的完整測(cè)試流程包含：

1. 靜態(tài)升壓法：在密閉測(cè)試腔體內(nèi)測(cè)量壓力回升曲線（t-P曲線），計(jì)算系統(tǒng)總漏率與虛漏貢獻(xiàn)值

2. 動(dòng)態(tài)流量法：采用標(biāo)準(zhǔn)流量計(jì)（Laminar Flow Element）建立Q=SP關(guān)系式，繪制抽速特性曲線

3. 四極質(zhì)譜分析法：通過(guò)殘余氣體分析（RGA）識(shí)別油蒸汽返流率（μg/h）及氣體成分比例

4. 階躍響應(yīng)測(cè)試：施加瞬時(shí)負(fù)載變化（ΔP≥50%Pn），記錄壓力恢復(fù)時(shí)間常數(shù)（τ≤5s）

5. 加速壽命試驗(yàn)：基于MIL-STD-810G標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行2000小時(shí)連續(xù)啟停循環(huán)測(cè)試（≥10^5次）

檢測(cè)儀器

完整的檢測(cè)平臺(tái)需配置以下七類精密儀器：

1. 全量程復(fù)合真空計(jì)組：含電容薄膜規(guī)（1E-4~1000Pa）、電離規(guī)（1E-7~1E-1Pa）、皮拉尼規(guī)（0.1~1000Pa）

2. 激光干涉振動(dòng)分析儀：分辨率達(dá)0.01μm/s2（10Hz~10kHz頻段）

3. 恒溫型氦質(zhì)譜檢漏儀：最小可檢漏率≤5×10^-13 Pa·m3/s

4. 多通道熱像儀：紅外測(cè)溫精度±1℃（-20~650℃量程）

5. 動(dòng)態(tài)氣體微流量校準(zhǔn)裝置：流量范圍1E-6~1E-2 Pa·m3/s（NIST可溯源）

6. 頻譜分析系統(tǒng)：含1/3倍頻程濾波器組（20Hz~20kHz）及聲強(qiáng)探頭陣列

7. 環(huán)境模擬試驗(yàn)箱：可實(shí)現(xiàn)-70℃~+150℃溫變?cè)囼?yàn)（±0.5℃控制精度）

檢測(cè)報(bào)告作用用作

銷售報(bào)告：出具正規(guī)第三方檢測(cè)報(bào)告讓客戶更加信賴自己的產(chǎn)品質(zhì)量，讓自己的產(chǎn)品更具有說(shuō)服力。

研發(fā)使用：擁有優(yōu)秀的檢測(cè)工程師和先進(jìn)的測(cè)試設(shè)備，可降低了研發(fā)成本，節(jié)約時(shí)間。

司法服務(wù)：協(xié)助相關(guān)部門(mén)檢測(cè)產(chǎn)品，進(jìn)行科研實(shí)驗(yàn)，為相關(guān)部門(mén)提供科學(xué)、公正、準(zhǔn)確的檢測(cè)數(shù)據(jù)。

大學(xué)論文：科研數(shù)據(jù)使用。

投標(biāo)：檢測(cè)周期短，同時(shí)所花費(fèi)的費(fèi)用較低。

準(zhǔn)確性較高;工業(yè)問(wèn)題診斷：較短時(shí)間內(nèi)檢測(cè)出產(chǎn)品問(wèn)題點(diǎn)，以達(dá)到盡快止損的目的。

我們的承諾

　　北京中科光析科學(xué)技術(shù)研究所承諾：我們將根據(jù)不同產(chǎn)品類型的特點(diǎn)，并結(jié)合不同行業(yè)和國(guó)家的法規(guī)標(biāo)準(zhǔn)，選擇適當(dāng)?shù)臋z測(cè)項(xiàng)目和方法進(jìn)行分析測(cè)試，或根據(jù)您的要求進(jìn)行試驗(yàn)分析。為了不斷改進(jìn)我們的工作，我們致力于提高產(chǎn)品質(zhì)控分析、使用性能檢測(cè)能力，并持續(xù)加強(qiáng)我們團(tuán)隊(duì)的科研技術(shù)。同時(shí)，我們將積極跟進(jìn)新的技術(shù)和標(biāo)準(zhǔn)，以最大程度地滿足您的需求和市場(chǎng)要求。