中析研究所可依據(jù)相應(yīng)MEMS微結(jié)構(gòu)測試標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行分析測試服務(wù)，亦可根據(jù)客戶需求設(shè)計(jì)方案，為客戶提供非標(biāo)檢測服務(wù)。

試驗(yàn)范圍

　　MEMS微結(jié)構(gòu)測試的樣品范圍非常廣泛，包括但不限于：

　　電子器件：集成電路芯片、傳感器、微處理器等。

　　傳感器：壓力傳感器、加速度傳感器、溫度傳感器、濕度傳感器等。

　　微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)：微型機(jī)械結(jié)構(gòu)、微型電子元件、微型光學(xué)元件等。

　　生物醫(yī)學(xué)器械：生物芯片、生物傳感器、人工器官等。

　　光學(xué)器件：微型光學(xué)透鏡、光纖光柵、光學(xué)波導(dǎo)等。

　　通信設(shè)備：微型天線、光纖連接器、光纖耦合器等。

　　航空航天器件：微型慣性導(dǎo)航系統(tǒng)、微型推進(jìn)器、微型陀螺儀等。

　　汽車電子：車載傳感器、車載控制模塊、車載娛樂系統(tǒng)等。

　　能源設(shè)備：微型燃料電池、太陽能電池、微型發(fā)電機(jī)等。

　　環(huán)境監(jiān)測：微型氣體傳感器、微型顆粒物傳感器、微型水質(zhì)傳感器等。

相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)

　　GB/T 28274-2012 硅基MEMS制造技術(shù) 版圖設(shè)計(jì)基本規(guī)則

　　GB/T 34893-2017 微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)技術(shù) 基于光學(xué)干涉的MEMS微結(jié)構(gòu)面內(nèi)長度測量方法

　　GB/T 34894-2017 微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)技術(shù) 基于光學(xué)干涉的MEMS微結(jié)構(gòu)應(yīng)變梯度測量方法

　　GB/T 34899-2017 微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)技術(shù) 基于拉曼光譜法的微結(jié)構(gòu)表面應(yīng)力測試方法

　　GB/T 34900-2017 微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)技術(shù) 基于光學(xué)干涉的MEMS微結(jié)構(gòu)殘余應(yīng)變測量方法

相關(guān)儀器

　　MEMS微結(jié)構(gòu)測試涉及的儀器設(shè)備列舉：

　　掃描電子顯微鏡(Scanning Electron Microscope，SEM)：SEM用于對MEMS微結(jié)構(gòu)的表面形貌和結(jié)構(gòu)進(jìn)行高分辨率的觀察和成像。它可以提供微米級別的圖像細(xì)節(jié)，幫助檢查器件結(jié)構(gòu)的完整性和形狀。

　　原子力顯微鏡(Atomic Force Microscope，AFM)：AFM用于測量MEMS微結(jié)構(gòu)的表面形貌和納米級別的力學(xué)性質(zhì)。它通過探針與樣品表面的相互作用來獲取高分辨率的表面拓?fù)鋱D像和力學(xué)特性。

　　光學(xué)顯微鏡(Optical Microscope)：光學(xué)顯微鏡用于對MEMS微結(jié)構(gòu)進(jìn)行全景觀察和初步檢查。它可以提供較低分辨率的圖像，用于檢查器件的整體形狀、對齊和組裝情況。

　　電子束曝光系統(tǒng)(Electron Beam Lithography System)：電子束曝光系統(tǒng)用于制造MEMS微結(jié)構(gòu)中的納米級圖案和器件。它通過使用電子束在光敏材料上進(jìn)行局部曝光，實(shí)現(xiàn)高精度的圖案定義和器件制造。

　　微流控測試系統(tǒng)(Microfluidic Testing System)：微流控測試系統(tǒng)用于對MEMS微結(jié)構(gòu)中的微流體通道和閥門進(jìn)行流體性能測試。它可以模擬和控制微流體環(huán)境，測量流體流速、壓力和溫度等參數(shù)。

　　電性測試設(shè)備(Electrical Testing Equipment)：電性測試設(shè)備用于測量MEMS微結(jié)構(gòu)的電氣特性，如電阻、電容、電感、電壓和電流等。它可以評估器件的電性能和電路功能。

我們的承諾

　　北京中科光析科學(xué)技術(shù)研究所承諾：我們將根據(jù)不同產(chǎn)品類型的特點(diǎn)，并結(jié)合不同行業(yè)和國家的法規(guī)標(biāo)準(zhǔn)，選擇適當(dāng)?shù)臋z測項(xiàng)目和方法進(jìn)行分析測試，或根據(jù)您的要求進(jìn)行試驗(yàn)分析。為了不斷改進(jìn)我們的工作，我們致力于提高產(chǎn)品質(zhì)控分析、使用性能檢測能力，并持續(xù)加強(qiáng)我們團(tuán)隊(duì)的科研技術(shù)。同時(shí)，我們將積極跟進(jìn)新的技術(shù)和標(biāo)準(zhǔn)，以最大程度地滿足您的需求和市場要求。